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        3D 表面形狀測量系統

        3D 表面形狀測量系統

        產品型號: Profilm 3D

        所屬分類:面包體積測定

        產品時間:2021-06-16

        簡要描述:日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D
        它是一個使用白光干涉技術的系統,可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
        Profilm 3D 適用于測量小樣品,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統產品更緊湊、更便宜。

        詳細說明:

        日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D

        它是一個使用白光干涉技術的系統,可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
        Profilm 3D 適用于測量小樣品,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統產品更緊湊、更便宜。
        各種測量模式,包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備,包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數據的軟件。

        主要特點

        • 低價!
          在配備所有必要功能的同時實現低價
        • 納米級高分辨率
          采用相移干涉法實現高分辨率
        • 全標準設備
          XY自動載物臺,手動左輪,自動光強調節,自動對焦功能
        • 緊湊的外殼
          主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設計。
        • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設備即可
          測量臺階測量和粗糙度測量
        • 操作
          簡單 基本操作只是簡單的鼠標操作
        • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
          國際標準 ISO25178
        • 可擴展性
          多種物鏡選擇,數據拼接功能

        日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D

        主要應用

        半導體晶圓凸塊、CMP焊盤等
        醫療領域注射針、人工關節、支架等
        安裝板銅線、凸點、透鏡等

        測量規格?

         垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)相移干涉測量 (PSI)
        測量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
        準確性0.7%——
        再現性0.1%——
        反射范圍0.05% – 100%0.05% – 100%


        設備規格

        XY自動載物臺100mm x 100mm
        Z軸驅動范圍100mm
        壓電驅動范圍500微米
        掃描速度12微米/秒
        相機2592 x 1944(500 萬像素)
        體重15公斤
         


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